空气吸入过滤器中去除去灰尘和机械杂质后，透平压缩机中，借助冷却器进行冷却，将空气压缩至约0.62MPa(A)左右，然后进入空气冷却塔中冷却。

　　空气在冷却塔中与水进行热质交换，降温至～10℃，然后进入分子筛吸附器。用于冷却空气的水有两部分：一部分为常温水，由泵加压后进入空冷塔中部；另一部分称为冷冻水，该股冷冻水由普通冷却水经水氮塔冷却，而后经过深冷水泵加压进入空冷塔的顶部。

　　出空冷塔空气进入分子筛吸附器，去除空气中的水份、二氧化碳和一些碳氢化合物，从而获得干净而又干燥的空气。两台吸附器交替使用，即一台吸附器吸附杂质，另一台吸附器则由污氮气进行再生。

　　净化后的加工空气分成两路:一路被称作膨胀空气，首先经过一个精细过滤器滤去杂质，而后进入膨胀机增压端增压，增压后的空气首先在增压机后冷却器中被冷冻水冷却，然后进入主换热器中的膨胀气通道，被相邻通道中的返流气冷却后，再从主换热器中部抽出，进入透平膨胀机中膨胀，膨胀后的空气进入上塔中部参加精馏；另一路空气直接进入主换热器被冷却至露点温度进入下塔。

　　已冷却的空气进入下塔参加精馏。进入下塔的空气通过塔板上的筛孔使塔板上的液体蒸发，由于氧、氮、氩的沸点间的差异，使更多的氮气从液体中蒸发出来，同时经过塔板的空气中更多的氧组分被冷凝下来。在下塔底部获得含氧38%的富氧液空，而在下塔顶部获得纯氮。

　　下塔顶部的氮气经过冷凝蒸发器，与来自上塔底部的液氧进行热交换，液氧被蒸发，而氮气被冷凝，一部分冷凝液氮再回到下塔作回流液，另一部分液氮，在过冷器中进行过冷，然后送入上塔顶部作为上塔的回流液。从下塔底部抽出富氧液空，在过冷器中过冷，其中一部分富氧液空提供给粗氩塔冷凝器作为冷源，另一部分送入上塔中部参加精馏。

　　以不同状态进入上塔的各物料：液空、液氮、来自粗氩塔冷凝器的液空蒸汽和膨胀空气，通过上塔的进一步分离，在上塔底部获得纯度为99.6%的液氧，可使用液氧泵提高压力后，经主换热器复热至～12℃后出冷箱转换为不同压力的氧气产品送出。

　　从上塔的上部抽出污氮气，经过冷器、主换热器复热后部分去纯化系统作再生气，另一部分去水氮塔。从上塔顶部抽出的氮气，经过冷器、主换热器复热后分成两股，一股作为产品氮气并入管网，另一部分送入预冷系统的水氮塔。

　　从上塔的中部抽取一定量的氩馏份送入氩塔，氩塔在结构上分为两段，两段之间由液氩泵连接，第二氩塔底部的回流液经液氩泵送入氩塔顶部作为回流液，经过氩塔精馏，在塔上部获含氮量极低的氩气，并更换冷源进行进一步精馏，除去氩气中的残余氧同时进行液化得到液体纯氩，分析合格后送入液氩贮存系统。